半導體工廠AGV自動化物流|AGV小車控制系統

半導體工廠AGV自動化物流|AGV小車在半導體行業應用

? ? ?半導體行業物流的AGV小車控制系統是指在物料離線流轉過程中用于降低人工操作程度的AGV硬件和軟件系統,又包括信息自動化和物流設備自動化兩個部分。信息自動化與工藝步驟的執行過程相關,包括制造執行系統(manufacturing execution system, MES)、信息通訊、工藝設備工作狀態監測(用于工作程序和工藝過程管理)、物料識別和追蹤等等。物流設備自動化通常和傳統流水線,自動立體庫,AGV小車等其他傳送相關的執行器,包括如何將其運送到工藝設備端或者在不同的存儲區域之間進行調度,以及晶片在工藝設備內部的傳送(包括物料緩沖區,裝載端口,晶片傳送機械手臂等)。

? ? ?從整個工廠的角度來看,許多設備內部的自動化晶片傳送部件也可以被定義為信息自動化系統中設備控制和管理功能的一部分。除了WIP自動傳送外,AGV傳送自動化也是傳送系統自動化的一項內容,它已成為現代化半導體工廠自動化系統中較大的單項投資項目。米克力美通過過去幾年的經驗顯示信息自動化可以大大推動產品成品率的提高,因為信息自動化可以大大提高設備管理水平、進行工藝數據收集和統計工藝控制、保證物流控制更加順利,同時還可以提高物料送達的準確率,從而減少誤操作和返工現象。此外,信息自動化還可以改善WIP的直觀監控,實現實時調度AGV及人員,提高生產速度。經驗證明對物流信息自動化進行投資可以增加附加價值。 ??

? ? ? 過去,物流自動化的作用在于保證工藝設備有事可做,維持足夠的WIP流向下一道工序并且使WIP順利地傳送到下一區域,通常采用人工傳送和存儲WIP的運作模式。Intrabay更加復雜的傳送和存儲則通過操作工人按照信息自動化系統的指示來完成,從而在合適的時間將合適的WIP傳送到合適的設備上?,F在一部分半導體企業已經啟用有米克力美提供的AGV物流系統自動化取代了操作工人的長距離搬送。

? ? ? 人工WIP處理已經被AGV自動化傳送系統所取代,包括所有工藝設備之間的傳送、存儲和分發。AGV中控系統主要用于滿足MES下一道工藝對加工物料的需求。此外,可以通過AGV控制軟件對物料存儲、管理和傳送路線進行優化?,F在的米克力美的AGV系統已經從上一代“下一道工藝步驟”響應系統發展到較大程度減少設備空閑時間、提高生產速度、縮短生產周期和實現生產目標的先進系統。

半導體工廠AGV自動化物流|AGV小車在半導體行業應用

? ? ? ?當然,存儲貨架需要增加額外功能-與設備之間的自動傳送;此外,還要增加貨架容量,用于取代intrabay WIP的存儲。米克力美科技的AGV系統還增加了一種新型的運輸工具-空中運輸(OHT)小車,它可以將物料較快的速度直接傳送到跨樓層區域。首先,系統將lot從工藝設備的裝載端口轉移到AGV小車上并傳送到各區所在緩存貨架上;然后,機械手將物料轉移到設備內部,或裝載到空中運輸車(OHS)上;需要加工這個物料時,機械臂到貨架自動調取該物料,將其運送到設備端并放置在設備的裝載port上。

? ? ? 這是一套高度機械化的物流傳送系統,整個動作需要進行兩點間的傳送時,AGV裝載車只能在指定的設備對接面工作,需要通過AGV中央系統將各個分離部分(設備, 貨架 物料)的控制子系統聯系在一起。傳輸只能局限于與傳送動作相關的區域內,整個系統的傳送速度固定準時。這種早期的AGV系統設計實際上是建立在早期工藝流程的基礎上的,它必須根據設備的生產速度為各個系統分派AGV運輸車,甚至AGV系統對工藝流程或其它異常事件做出快速反應,通知到負責人。

? ? 米克力美AGV系統具有以下優點:

? ?● 使WIP更加靠近工藝設備,縮短從存儲貨架到設備端的傳送時間。
? ?● 減小存儲貨架占地面積,省下空間放置更多工藝設備。
? ?● 成本低,AGV不僅可以減少投資,而且可以減少占地面積、提高可靠性和取消定時保養維護。

? ? ? 為了支持整體式AGVS、動態傳送路線選擇和存儲,AGVS傳輸控制和物料控制系統必須具有正確分配任務、高效利用資源、動態平衡負載、持續檢測與WIP相關的上百個參數并及時做出反應的智能功能。通過設備和設備系統的統一與整合,控制系統可以直觀地顯示和協調控制各個傳輸動作。通過動態控制AGV傳輸車位置,生產傳輸系統的各項資源可以得到較佳優化和利用。

? ? ?目前,米克力美科技正在加大力度研發第三代AGVS,第三代AGVS系統的評估必須依賴于復雜的模擬系統,通過模擬系統可以將AGVS與生產速度和生產周期連在一起。終端用戶可以評估哪種自動生成的AGVS配送程序能夠提供較好的功能和較好地與fab信息系統整合在一起。

 

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